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高纯气体 氮气,高纯氮气,超纯氮
1.别名·英文名
Nitrogen.
2.用途
化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保护介质,速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂,电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等,还用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。
3.制法
①空气分离法。
②氨分解法:NH4NO2→N2+2H2O。
③在铜屑上通过氧化氮。