特种气体管路检测机构

特种气体管路检测机构

氦质谱测漏是灵敏和无破坏性的确认系统密封性，环境安全性和产品质量的测试方法。机械式的干泵可以对

VMB，气瓶柜，盘面和气体管道进行的测试。在把系统交给客户使用前，对于二次配的气体管路进行氦测

漏，进一步的确保整个系统的密封性。测漏服务业可以含盖对机台的 CHAMBER 抽真空，喷氦，然后进行机台内

部的检测。

保压法检漏的目的是为了确保管路输送系统没有明显的泄漏及管路耐压情况进行判断，可以通过的圆盘/

电子实际完成对 VMB，气瓶柜，气体盘面和高纯气体管路的气密性及机械扭力测试。也可以提供对大宗气体，包

括应用中的工艺氮气，氦气，氢气，氧气和氩气系统的压力测试。